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高溫爐五大操作規(guī)程

發(fā)布日期:2018-12-17 瀏覽次數(shù):
一、預備工作
  1.查看電源線觸摸是不是良好
  2.查看連接線是不是正常
  3.查看冷卻水是不是正常
  4.查看密封性是不是正常
  5.預備所需工具:無塵紙、無水酒精、帆布手套、工作手套、口罩、耐高溫手套、石墨推車、不銹鋼托盤

二、開爐
  1,翻開主電源開關
  2,向爐體充氬氣至大氣壓,翻開爐體前門,取下石墨蓋板
     3,將輸送車開關打至 OUT,順次操作 UP - FORWARD - UP - BACK - DOWN 按鈕,取出 。石墨坩堝,順次放置于石墨推車上輸送車開關.
  4,清爐 整理爐膛內壁、石墨件及保溫材料上的污物

三、裝料
  1.將石墨坩堝放置于輸送車平臺上,使用限位桿斷定其方位,順次裝入硅料。
  2.拔出限位桿,輸送車開關打至 IN,順次操作 UP - FORWARD - BACK - DOWN,將坩堝裝入爐膛內,并斷定輸送車會到初始方位。
  3.裝入石墨蓋板,擰緊石墨螺栓,關緊爐門

四、 抽氣
  1,查看爐門是不是關緊,真空體系是不是密封
  2,置 DP 按鈕于 DP ON,翻開干式真空泵,翻開真空計開關 P1G1,翻開干式真空泵 。閥門,開端抽氣測驗走漏率,
  3,當壓力表指示為 50Pa是封閉真空泵閥門(非真空泵)露鋁≤1Pa/min,翻開氬氣閥門充氬氣(20L/min)。
  4,加熱 先翻開水環(huán)泵 再按 RUN,開端技術加熱。

五、冷卻
  1.加熱完畢后,按技術條件進行冷卻;
  2.爐內溫度下降至 200℃以下,壓力達到一個大氣壓后才可翻開爐門,繼續(xù)冷卻。
  3.完全冷卻至室溫后,將輸送車開關打至 OUT,順次操作 UP - FORWARD - UP - BACK- DOWN 按鈕,取出石墨坩堝,取出硅料,并進行分裝。
  4.打掃爐體后封閉爐門,將爐體抽成負壓。
  5.整理并妥善放置其它附屬物件。
        以上就是我們總結的高溫爐的操作規(guī)程,但是除了按照操作規(guī)程來操作以外,還要注意高溫爐的日常保養(yǎng),這樣才能保證爐子經久耐用。





 
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